SJT 31080-1994 图形发生器完好要求和检查评定方法
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ID： |
CFA4B9694FAE4B7C8519548546279F52 |
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文件大小(MB)： |
0.27 |
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页数： |
4 |
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日期： |
2024-7-28 |
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sj/t 31080-94,中华人民共和国电子行业标准,图形发生器完好要求和检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了图形发生器的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于3600F型图形发生器,其它型号图形发生器(如3600型,EM25O型等)可参,照本标准并结合该设备的具体指标检查、评定,2名词与术语,2.1中间掩模(reticle),用图形发生器作在感光板上,其图形尺寸一般大于集成电路实际尺寸的掩模做中间掩模,又称初缩版,2. 2 可变狭缝(variable aperture),在图形发生器中用于产生各种图形的机构,通常由两组可开合的刀口组成,3完好要求,3.1 主要技术指标,3.1- 1工作台定位精度为士0-25/zm,3.1.2 150mm全程范围内的总精度为士0.6円n,3-1- 3 工作台正交性为±0-5arc second(5/zm/m) 〇,3-1-4可制作曝光面积为150mmX 150mm的掩模,3.1.5 具有两种曝光光源,即闪光灯光源和汞灯光源,可分别制作乳胶干版和格版,光源均匀,性为±5%,3.1.6 采用HP55O1A激光干涉仪进行闭环控制,最小输入数据为0.,3.1-7可变狭缝在像面可产生线宽2円山列1.5mm的图形,狭缝可围绕中心旋转0—90,3.1 -8自动调焦系统Z轴运动范围是635fmi,对版面的探测精度是士0. 25jzmo,3.2 操作系统,3.2.1 各开关及按扭启动灵活,标志齐全,3.2 -2制动及限位装置齐全,灵活可靠,3.3 传动系统,设备运转平稳,无振动,3.4 润滑系统,润滑系统完好无损,3.5 真空系统,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准 1994-06-01实施,SJ/T 31080-94,低真空系统工作正常,3-6气压系统,为隔震台提供干燥及经过过滤的压缩空气系统工作正常,3.7 电气系统,3.7 .1电气系统运行可靠,保护装置齐全有效,3.7 -2电气线路完整,绝缘层无破裂,无漏电现象,3.8 计算机控制系统,主机、磁带机及键盘显示终端应工作正常,主机操作程序和测试程序可由磁带读入,3.9 附件,附件齐全,保管良好,无锈蚀及损伤,3.10 附属装置,净化间应保持21±0.1￠相对湿度小于70%,净化应保持在100级以内,3.11 安全防护,3.11.1 各安全防护装置安全、可靠,3.11.2 接地可靠,标志明显,3.11.3 计算机应有良好的接地地线,3.12 维护保养,设备环境温度应保持在20。.25C以内,相对湿度应小于75%,其他按SJ/T 31002-94,《设备维护保养通则》执行,4检査、评定方法,4-1-1输入专用测试程序,用图形发生器制作方阵状及鱼骨状检测图形(见附图1),用高精,度测长仪器及髙倍显微镜检査检测图形有关项自,4.1-2根据方阵图形中(1)、(2)、(8)各项及鱼骨图形(见附图2)拚接情况,检测工作台定位,精度,4.1.3根据方阵图形(1)、(2)、(27)项的测量结果,检测出设备全程总精度,4.1-4根据方阵图形(5)、(7)、(8)项检测工作台的正交性,4.1-5根据实拍150毫米X150毫米的掩模图形,检测可制作掩模的最大尺寸,4-1.6用光强计测量或制作分辨率检测图形的方法来检测光源的均匀性,4.1-7根据实拍方阵及鱼骨图形及检测(4)、(8)、(26)等项检测狭缝尺寸精度及转角精度,4.1-8通过实拍分辨率图形,检测自动调焦精度,4.1- 9各系统完好要求所列内容,采取直观法检査,4-2评定方法,4-2-1主要项目为3.1-1—3.1.8,其余为次要项目,4.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,4- 2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,2,SJ/T 31080-94,36OOF PG,附图1方阵状测试图形,下载,SJ/T 31080-94,lf25 MM 一一十?002 MM,?TEST ROW HIMAGE NO),-BASE LINE 1,■ REFERENCE BAR,3600F PG.附图2鱼骨状测试图形,附加说明;,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由电子工业部第13所组织起草,本标准主要起草人:钱伟训,4……
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